盤式動(dòng)壓拋光理論及實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、當(dāng)今社會(huì)，隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展對光學(xué)元件的需求逐漸走向大型化和超精細(xì)化，計(jì)算機(jī)控制光學(xué)表面成型技術(shù)和非接觸式拋光技術(shù)得到了迅猛發(fā)展。為了保持動(dòng)壓拋光精度高、質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)并提高加工效率，本文提出了盤式動(dòng)壓拋光的加工方式，把傳統(tǒng)的動(dòng)壓拋光由點(diǎn)接觸、線接觸演變?yōu)槊娼佑|，并對該方法在基礎(chǔ)理論方面和工藝實(shí)驗(yàn)方面進(jìn)行了細(xì)致的研究。
　　首先，本文以流體動(dòng)力學(xué)知識為基礎(chǔ)推導(dǎo)了在動(dòng)壓拋光過程中各參數(shù)之間的關(guān)系，其參數(shù)包括壓強(qiáng)、承載力、流量、轉(zhuǎn)速

2、和液膜厚度，得到了液膜厚度控制方程。采用當(dāng)下流行的CFD軟件對理論模型進(jìn)行了數(shù)值分析，并與理論推導(dǎo)結(jié)果進(jìn)行比對，印證了理論推導(dǎo)方程的正確性，為后續(xù)的實(shí)驗(yàn)控制方式提供了指導(dǎo)。
　　其次，為了實(shí)現(xiàn)拋光過程的穩(wěn)定可控并降低機(jī)械設(shè)備的制造和裝配精度需求，本文利用 FLUEN T對液膜出現(xiàn)厚度不均勻的情況進(jìn)行了分析，表明此時(shí)液膜會(huì)對工具提供偏載力矩用以矯正工具的位姿，據(jù)此可以得知實(shí)現(xiàn)工具的自修正在理論上是可行的。為了在機(jī)械結(jié)構(gòu)上保證工具的自