NIKON SCANNER同期精度控制方法的研究與實(shí)現(xiàn).pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩72頁(yè)未讀 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、隨著摩爾定律的不斷延續(xù),半導(dǎo)體芯片的集成度越來(lái)越高,單位面積內(nèi)的晶體管數(shù)量也越來(lái)越多,隨之而來(lái)的就是線寬的不斷減小,這也就對(duì)半導(dǎo)體光刻設(shè)備的解析度和套刻精度的要求越來(lái)越高。為了滿足這些要求,光刻機(jī)由最開(kāi)始的步進(jìn)式光刻機(jī)發(fā)展到步進(jìn)掃描式光刻機(jī),再到當(dāng)前市場(chǎng)主流的浸潤(rùn)式光刻機(jī),解析度由最開(kāi)始的微米級(jí)發(fā)展到納米級(jí),套刻精度也由最初的幾微米發(fā)展到目前最新為2.5納米套刻精度的光刻機(jī)。與此同時(shí),由于精度的不斷提高,對(duì)光刻機(jī)內(nèi)部各部分運(yùn)動(dòng)的同步性要

2、求就越來(lái)越高,業(yè)內(nèi)提出了同期精度這個(gè)用來(lái)評(píng)價(jià)光刻機(jī)各部分運(yùn)動(dòng)同步性的指標(biāo),相關(guān)理論與評(píng)價(jià)方法受到廣泛研究。由此本文將尼康NSR-S204掃描光刻機(jī)作為對(duì)象,研究機(jī)臺(tái)的同期精度測(cè)量評(píng)估及同期精度控制方法。
  本文闡述了掃描光刻機(jī)的曝光系統(tǒng)、坐標(biāo)系統(tǒng)、動(dòng)態(tài)曝光操作方式、同步控制技術(shù)等基本結(jié)構(gòu)和原理,在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步分析了同期精度概念和評(píng)價(jià)方法。將這些理論和方法用于尼康NSR-S204掃描光刻機(jī),對(duì)設(shè)備的誤差值、平均值、移動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)差、快

3、速傅立葉變換等關(guān)鍵參數(shù)的采集和分析,實(shí)現(xiàn)了同期精度的快速評(píng)估。進(jìn)一步的,針對(duì)工程項(xiàng)目中出現(xiàn)的同期精度評(píng)估不合格情況,結(jié)合設(shè)備故障現(xiàn)象,通過(guò)抓取的數(shù)據(jù)分析出問(wèn)題所在,逐步排除故障問(wèn)題點(diǎn),然后發(fā)現(xiàn)問(wèn)題源頭所在,并通過(guò)對(duì)比發(fā)現(xiàn)所有NSR-S204機(jī)臺(tái)都存在相同隱患,最后制定了光刻機(jī)改造方案并加以實(shí)施。
  改造后的光刻機(jī)經(jīng)用戶測(cè)試和現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際使用,結(jié)果表明,本次改造非常成功,從根本上消除了類(lèi)似同期精度問(wèn)題的再次發(fā)生,減少了停機(jī)時(shí)間的同時(shí),

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論