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文檔簡(jiǎn)介
1、隨著摩爾定律的不斷延續(xù),半導(dǎo)體芯片的集成度越來(lái)越高,單位面積內(nèi)的晶體管數(shù)量也越來(lái)越多,隨之而來(lái)的就是線寬的不斷減小,這也就對(duì)半導(dǎo)體光刻設(shè)備的解析度和套刻精度的要求越來(lái)越高。為了滿足這些要求,光刻機(jī)由最開(kāi)始的步進(jìn)式光刻機(jī)發(fā)展到步進(jìn)掃描式光刻機(jī),再到當(dāng)前市場(chǎng)主流的浸潤(rùn)式光刻機(jī),解析度由最開(kāi)始的微米級(jí)發(fā)展到納米級(jí),套刻精度也由最初的幾微米發(fā)展到目前最新為2.5納米套刻精度的光刻機(jī)。與此同時(shí),由于精度的不斷提高,對(duì)光刻機(jī)內(nèi)部各部分運(yùn)動(dòng)的同步性要
2、求就越來(lái)越高,業(yè)內(nèi)提出了同期精度這個(gè)用來(lái)評(píng)價(jià)光刻機(jī)各部分運(yùn)動(dòng)同步性的指標(biāo),相關(guān)理論與評(píng)價(jià)方法受到廣泛研究。由此本文將尼康NSR-S204掃描光刻機(jī)作為對(duì)象,研究機(jī)臺(tái)的同期精度測(cè)量評(píng)估及同期精度控制方法。
本文闡述了掃描光刻機(jī)的曝光系統(tǒng)、坐標(biāo)系統(tǒng)、動(dòng)態(tài)曝光操作方式、同步控制技術(shù)等基本結(jié)構(gòu)和原理,在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步分析了同期精度概念和評(píng)價(jià)方法。將這些理論和方法用于尼康NSR-S204掃描光刻機(jī),對(duì)設(shè)備的誤差值、平均值、移動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)差、快
3、速傅立葉變換等關(guān)鍵參數(shù)的采集和分析,實(shí)現(xiàn)了同期精度的快速評(píng)估。進(jìn)一步的,針對(duì)工程項(xiàng)目中出現(xiàn)的同期精度評(píng)估不合格情況,結(jié)合設(shè)備故障現(xiàn)象,通過(guò)抓取的數(shù)據(jù)分析出問(wèn)題所在,逐步排除故障問(wèn)題點(diǎn),然后發(fā)現(xiàn)問(wèn)題源頭所在,并通過(guò)對(duì)比發(fā)現(xiàn)所有NSR-S204機(jī)臺(tái)都存在相同隱患,最后制定了光刻機(jī)改造方案并加以實(shí)施。
改造后的光刻機(jī)經(jīng)用戶測(cè)試和現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際使用,結(jié)果表明,本次改造非常成功,從根本上消除了類(lèi)似同期精度問(wèn)題的再次發(fā)生,減少了停機(jī)時(shí)間的同時(shí),
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