抽放射性氣體渦旋真空泵主要零件的有限元分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著科學技術的飛速發(fā)展,對于全密封式無油渦旋真空泵的需求顯得日趨迫切。特別是在高純氣體、核工業(yè)氣體的傳輸和儲存以及半導體電子器件生產(chǎn)中稀有氣體的回收和電子工業(yè)中無油清潔系統(tǒng)中全密封式無油渦旋真空泵有著廣泛的應用。在全密封式無油真空泵中,起密封作用的波紋管至關重要。如果波紋管密封性不好,出現(xiàn)泄漏,則全密封式無油真空泵無法達到較高的真空度,不能滿足工程實際需要。一旦泵中這些放射性氣體出現(xiàn)泄漏,不僅帶來生產(chǎn)安全隱患,而且會污染環(huán)境,嚴重的還將

2、引起重大事故。
  全密封式無油渦旋真空泵在工作時,泵中的波紋管在偏心結(jié)構的作用下,產(chǎn)生振動;而波紋管振動時長期承受交變載荷,于是包括疲勞失效在內(nèi)的各種類型的損傷和破壞就成為影響波紋管使用性能和使用壽命的主要因素。
  本文結(jié)合實際需要,對抽放射性氣體的渦旋真空泵中機械密封的波紋管進行了研究;首先對波紋管進行模態(tài)分析,得到基本振型,求出其固有頻率,避免實際應用中引起共振,同時模擬出波紋管在模態(tài)分析中產(chǎn)生的變形和振動應力,得到

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