薄膜材料熱性能研究與測試.pdf

1、薄膜作為物質(zhì)存在的最常見的形式之一，廣泛地應用于MEMS和微電子器件中，并且占有著重要的地位，目前的微尺度熱學研究主要集中在薄膜上。薄膜的熱物性參數(shù)決定著器件的熱性能，是建立器件熱平衡方程和進行熱分析的重要基礎，所以分析薄膜中的傳熱問題自然成為進一步提高器件性能的關鍵步驟。因此，準確地對微/納米薄膜熱學參數(shù)進行定量分析對器件的研究和發(fā)展具有重要的意義。
　　本論文基于微尺度傳熱理論，提出了測試多層薄膜熱導率和熱容的方法，并將測試結

2、構加工成型,最后測量出了多層薄膜的熱導率和熱容值。首先，本論文對常見薄膜熱物性測試方法進行理論分析，在已有方法基礎上進行優(yōu)化和設計，提出了用比較法測試多層薄膜熱導率和用懸膜法測試多層薄膜熱容，并經(jīng)過仿真分析驗證出該方法的可行性。其次，介紹了多層薄膜熱導率和熱容的測試結構制作過程，整個測試結構是由微機械加工技術制造而成，包括體微加工與表面微加工技術。用到的鍍膜技術有PECVD、磁控濺射、真空蒸發(fā)等，用光刻、濕法腐蝕、等離子體干法刻蝕等工藝