薄膜溫差電材料電沉積設(shè)備及性能測試系統(tǒng)的設(shè)計與制造.pdf

1、電沉積作為薄膜溫差電材料的一種重要制備方法，日益受到關(guān)注，但由于這種方法的應(yīng)用還處于初始階段，其配套的制備設(shè)備及性能測試設(shè)備尚有待開發(fā)。本論文為滿足薄膜溫差電材料電沉積制備及其性能表征的需要，設(shè)計了薄膜溫差電材料電沉積設(shè)備和電阻率測試系統(tǒng)。
　　 本文設(shè)計的薄膜溫差電材料電沉積設(shè)備可同時輸出四路可控電壓信號，并具備實時監(jiān)測各個通道的電壓、電流、電量的功能。電壓信號可根據(jù)需要設(shè)置成脈沖波、三角波、直流等不同信號類型。該電沉積設(shè)備體

2、積較小、操作方便、造價低廉、性能穩(wěn)定、精確度高，完全滿足電沉積薄膜溫差電材料的需要。
　　 本文依據(jù)四探針法的基本原理并結(jié)合雙脈沖技術(shù)，設(shè)計并制造適用于薄膜溫差電材料的電阻率測試系統(tǒng)。該系統(tǒng)因采用了雙脈沖技術(shù)，避免了測試過程中溫差電材料的帕爾貼效應(yīng)對電阻率測試結(jié)果的不利影響。該系統(tǒng)能夠滿足對任何形狀薄膜試片的電阻率測試，包括尺寸較小或者形狀不規(guī)則的薄膜試片。且當(dāng)探針位于試片邊界附近時，可在不需要進行邊界幾何修正的情況下進行測量。