基于多表面輪廓測量系統(tǒng)的玻璃平面非接觸檢測工藝技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著玻璃在電子產(chǎn)品顯示和半導(dǎo)體硅襯底上的廣泛應(yīng)用,對玻璃的性能提出更高的要求,特別是玻璃的表面的面型、厚度等指標(biāo)。為此,需要對玻璃表面形貌進(jìn)行精密的測試。在現(xiàn)有的檢測方法中,以頻率掃描干涉法(Frequency Scanning Interferometry,FSI)為當(dāng)前主要測試方法。
　　本文以美國康寧公司生產(chǎn)的FlatMaster多表面輪廓測量系統(tǒng)(Multi-Surface Profile,MSP)系統(tǒng)為測試手段,實(shí)現(xiàn)了基

2、于該系統(tǒng)的FSI快速測量、分析各種連續(xù)表面、非連續(xù)表面(鏤,凹凸等)的玻璃材料表面形貌,改善玻璃的加工過程的控制、工藝。
　　本論文完成以下幾項(xiàng)工作:
　　1)研究MSP設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和測量原理。
　　2)編寫直徑200mm的Wafer鏤空窗口片、直徑300mm wafer、玻璃屏幕等產(chǎn)品外貌MSP檢測程序和驗(yàn)證檢測的可靠性。
　　3)通過MSP測量的實(shí)驗(yàn),實(shí)現(xiàn)Eagle XG玻璃原材料面形、厚度、TTV分割測量,一整

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