平穩(wěn)背景下器件成像多余物檢測(cè)技術(shù).pdf

1、局限于我國(guó)現(xiàn)階段的工業(yè)生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)環(huán)境，高可靠器件的生產(chǎn)過(guò)程中，難免會(huì)將各種不屬于該器件的多余物封裝在器件內(nèi)部，而形成器件多余物。現(xiàn)階段對(duì)于多余物檢測(cè)技術(shù)的研究主要集中于PIND 粒子撞擊檢測(cè)法等方法。本文以人眼視覺(jué)顯著性理論為支撐，將多余物分類為簡(jiǎn)單背景下多余物和復(fù)雜背景下多余物,提出了基于器件圖像顯著幾何基元特征識(shí)別配準(zhǔn)的多余物成像檢測(cè)新方法。
　　 本文主要工作包括如下：（1）提出了多余物成像檢測(cè)系統(tǒng)的七層模型如下：圖像

2、輸入、圖像分類、圖像顯著幾何形狀提取、特征提取、幾何基元/區(qū)域匹配、圖像配準(zhǔn)/校正和多余物檢測(cè)七個(gè)層次。（2）依據(jù)多余物成像檢測(cè)七層模型，完成了多余物成像檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)。（3）針對(duì)三種典型的器件模型：非金屬四邊形器件、非金屬圓形器件、以及顯著單直線器件，依據(jù)多余物檢測(cè)七層模型，本文主要研究了三種多余物成像檢測(cè)模式，圓模式、顯著單直線模式和直線集合模式。其中，檢測(cè)模式主要涉及的算法包括圖像顯著幾何基元的提取算法，圖像區(qū)域分割算法以及圖像配準(zhǔn)