ICU測(cè)試用運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與研究.pdf

1、濕法光刻技術(shù)是通過(guò)在最后一級(jí)投影物鏡與硅片之間填充一層高純液體，從而獲得優(yōu)于傳統(tǒng)干式光刻技術(shù)的分辨率，使用該技術(shù)的濕法光刻機(jī)是目前最先進(jìn)的IC生產(chǎn)裝備之一。濕法光刻機(jī)中，有一個(gè)用于控制高純液體的注入與回收、維持濕法光刻工作流場(chǎng)的穩(wěn)定的ICU結(jié)構(gòu)。為了對(duì)ICU的結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，需要對(duì)ICU及流經(jīng)該ICU形成的濕法光刻工作流場(chǎng)進(jìn)行相關(guān)的性能測(cè)試與觀測(cè);為了得到更加可信的試驗(yàn)數(shù)據(jù)，需要在接近濕法光刻機(jī)正常工作的工況下進(jìn)行相關(guān)試驗(yàn)。所以設(shè)計(jì)開(kāi)

2、發(fā)一套ICU測(cè)試用運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)具有非常重要的意義。
　　根據(jù)對(duì)濕法光刻機(jī)步進(jìn)掃描工作臺(tái)的技術(shù)調(diào)研結(jié)果及實(shí)際的試驗(yàn)需求，針對(duì)ICU測(cè)試用運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)研究，本課題完成的工作如下:
　　1、進(jìn)行總體設(shè)計(jì)時(shí)，將ICU測(cè)試用運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)分為機(jī)械結(jié)構(gòu)系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)，然后根據(jù)功能需要再將其機(jī)械結(jié)構(gòu)系統(tǒng)分為二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和ICU空間位姿調(diào)整機(jī)構(gòu)分別進(jìn)行設(shè)計(jì)。
　　2、根據(jù)從底部觀測(cè)濕法光刻工作流場(chǎng)平面的方案，在對(duì)模擬濕法光刻機(jī)步進(jìn)掃

3、描工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)的二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)采用多層臺(tái)結(jié)構(gòu):其中粗動(dòng)臺(tái)采用“口字”型驅(qū)動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)布局、有鐵芯電磁式直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、滾動(dòng)直線軸承直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向等技術(shù);微動(dòng)臺(tái)是一個(gè)底部使用氣浮隔振的手動(dòng)臺(tái)。
　　3、根據(jù)對(duì)ICU空間位姿調(diào)整的需求，設(shè)計(jì)了一種新型的基于3-PSR-V并聯(lián)機(jī)構(gòu)的ICU空間位姿調(diào)整機(jī)構(gòu)，在該機(jī)構(gòu)中，使用了一套激光位移測(cè)量系統(tǒng)對(duì)ICU空間位姿調(diào)整進(jìn)行校正。
　　4、根據(jù)運(yùn)動(dòng)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制需求，設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了一套運(yùn)動(dòng)臺(tái)