CrAlN及CrAlSiN硬質(zhì)膜的合成及性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文研究了基體偏壓和氮?dú)夥謮簩?duì)多弧離子鍍技術(shù)制備的CrAlN硬質(zhì)膜的結(jié)構(gòu)與性能的影響;利用掃描電鏡(SEM)、電子能譜儀(EDS)、X射線衍射儀(XRD)、X射線光電子能譜儀(XPS)、高分辨透射電鏡(HRTEM)對(duì)薄膜的組織和成分進(jìn)行分析;利用納米壓痕儀、劃痕儀和銷-盤式磨損儀對(duì)薄膜的硬度、膜-基結(jié)合力和摩擦性能進(jìn)行測試;對(duì) CrAlN、CrAlSiN硬質(zhì)膜的高溫穩(wěn)定性能進(jìn)行了深入的研究。
　　研究結(jié)果表明,隨著基體偏壓的增加或

2、氮?dú)夥謮旱慕档?涂層表面顆粒數(shù)逐漸減少,涂層的沉積速率呈降低趨勢,涂層的硬度值逐漸降低,摩擦系數(shù)升高。隨著基體偏壓的增加,Cr2N相的逐漸消失。隨氮?dú)夥謮旱脑黾酉嘟Y(jié)構(gòu)變化如下:Cr+ Cr2N+(Cr,Al)N→ Cr2N+(Cr,Al)N→ Cr2N+ CrN+ AlN+(Cr,Al)N。
　　CrAlN超硬膜隨著退火溫度從常溫增加到900℃,CrN相逐漸消失取而代之的是Cr2N相,硬度和結(jié)合強(qiáng)度略有降低。1100℃退火后,涂層

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