Sn、Cr摻雜In2O3薄膜的制備及光敏性質(zhì)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、天津理工大學(xué)碩士學(xué)位論文Sn、Cr摻雜In2O3薄膜的制備及光敏性質(zhì)研究姓名：吳一晨申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：材料學(xué)指導(dǎo)教師：劉技文；安玉凱201201薄膜的載流子濃度、遷移率、電阻率影響較小。薄膜致密度越差、表面粗糙度越高，對(duì)紫外光的靈敏度越高，響應(yīng)時(shí)間越長(zhǎng)。襯底溫度同為600℃時(shí)，氧流量為O4sccm，Sn、Cr共摻的In203薄膜較單摻Sn對(duì)紫外光的靈敏度高出157％，而響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)出413s。關(guān)鍵詞：h1203Sn摻雜Sn、Cr共摻

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