酞菁銅的制備與氣敏特性研究.pdf

1、近年來，隨著大氣污染的日益嚴重，對有毒有害氣體的檢測成為時下研究的熱點。酞菁類(MPc)有機半導體氣敏傳感器由于具有能在常溫下工作，低成本，精度高等優(yōu)點，受到人們的關(guān)注。
　　 本論文主要是利用苯酐-尿素路線合成了酞菁銅，再根據(jù)其溶解性進行提純。用真空鍍膜的方法蒸鍍敏感膜，隨后進行熱退火。經(jīng)XRD分析表明提純后其晶型為α晶型，而退火后轉(zhuǎn)變?yōu)棣戮?。通過紅外光譜觀察了酞菁銅分子的化學鍵吸收峰的位置，并用SEM和AFM觀察了酞菁銅薄

2、膜的表面形貌，發(fā)現(xiàn)呈小顆粒的形狀。使用IntelliSuite6.3軟件對叉指電極的制作工藝進行仿真，證明其可行性。制作出鍍有酞菁銅薄膜的叉指電極。同時利用ANSYS10.0軟件對電極間薄膜電阻的電場線及電流密度進行了分析。氣敏測試的結(jié)果顯示，酞菁銅薄膜對二氧化氮的選擇性較高，響應(yīng)速度較快，為3s，但是恢復時間較長，為35s，而且不能完全恢復。它對乙醇，甲醇，H2等響應(yīng)較小，對丙酮，異丙醇沒有響應(yīng)。同時證明了酞菁銅吸收氧化性氣體后電導變