基于MC68376的3kW射頻板條CO2激光器控制系統(tǒng)研究.pdf

1、擴散冷卻射頻板條 CO2激光器結(jié)構(gòu)緊湊，光束質(zhì)量接近 K=0.95，輸出功率2kW~4kW的激光器是目前激光切割、焊接的主力光源之一。本文針對3kW射頻板條CO2激光器，深入分析了激光器工作原理和各種控制信號，研究了基于MC68376單片機的射頻板條 CO2激光器控制系統(tǒng)，實現(xiàn)動態(tài)信號的實時獲取以及自身狀態(tài)檢測和控制。主要研究工作如下。
　?。?）分析3kW射頻板條CO2激光器原理及其關(guān)鍵技術(shù)。激光器主要由真空箱體、水冷系統(tǒng)、射頻

2、電源、匹配網(wǎng)絡(luò)、平板電極、非穩(wěn)波導(dǎo)混合腔、光束整形以及整機控制組成。采用非穩(wěn)—波導(dǎo)混合腔，有效利用平板波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激活區(qū)并獲得較好光束傳輸比。通過光束整形，得到近似圓形的類基模光斑。
　?。?）研究了3kW射頻板條CO2激光器信號檢測與控制技術(shù)。射頻放電頻率為81.36MHz。脈寬調(diào)制(PWM)控制激光輸出方式。具備電流檢測、電壓檢測和報警輸出功能。系統(tǒng)主要對控制激光器開機、關(guān)機時序以及各參數(shù)變化實時監(jiān)測和控制，PWM占空比在5％~9

3、5%之間，能夠穩(wěn)定輸出激光。
　?。?）設(shè)計了以 MC68376為核心的控制系統(tǒng)硬件電路。包括主控制芯片、外圍電路、擴展存儲、通信電路以及采取的抗干擾措施。數(shù)字信號輸入輸出采用TLP181光耦隔離，模擬信號輸入采用INA117高共模電壓差分放大器。采用MAX526數(shù)模轉(zhuǎn)換器、AD7856模數(shù)轉(zhuǎn)換器?？刂葡到y(tǒng)具有較好的穩(wěn)定性及抗干擾能力。
　　（4）以CodeWarrior為軟件開發(fā)平臺，設(shè)計開機檢測程序，高壓啟動以及數(shù)據(jù)讀取

4、、傳輸模塊流程圖。實現(xiàn)對開機信號、冷卻水、光閘以及開燈絲信號等檢測。調(diào)用函數(shù)stcheck()開機檢查，燈絲接通，延時30s后高壓啟動。
　?。?）實驗測試射頻板條CO2激光器模擬信號顯示值與輸入模擬值的線性度，電流、電壓、氣壓、真空模擬信號的檢測值（y）與輸入模擬值（x）關(guān)系基本滿足線性關(guān)系。模擬量與顯示值的關(guān)系和預(yù)先設(shè)置的數(shù)量關(guān)系相近。以1.8m/min焊接速度，對3mm厚冷軋板進行3kW射頻板條CO2激光器拼焊實驗，對焊接試