射頻CO-,2-激光器射頻激勵(lì)源研究.pdf

1、在激光加工領(lǐng)域，射頻CO2激光器由于其卓越的性能而得到了廣泛的應(yīng)用，國(guó)內(nèi)相關(guān)機(jī)構(gòu)也開(kāi)展了這方面的研究，但是還沒(méi)有國(guó)產(chǎn)射頻CO2激光器投入運(yùn)用。本文重點(diǎn)對(duì)射頻CO2激光器射頻激勵(lì)源進(jìn)行了研究。
　　 文章首先介紹了射頻CO2激光器發(fā)展歷史及研究現(xiàn)狀，接著介紹了高頻擊穿理論和射頻激勵(lì)，并介紹了射頻CO2激光器的結(jié)構(gòu)和冷卻的方法，總結(jié)了射頻CO2激光器高效運(yùn)轉(zhuǎn)的因素，這對(duì)深刻理解射頻激勵(lì)源的性能要求有著重要意義。
　　 然后介

2、紹了元器件高頻模型。元器件的特性在高頻條件下和低頻條件下有很大的差別，不同的類(lèi)型、相同數(shù)值的元件在具體電路中的表現(xiàn)也會(huì)有很大差別，如果選擇不合理，將會(huì)導(dǎo)致實(shí)際的激勵(lì)源和設(shè)計(jì)的激勵(lì)源有很大差別，甚至根本就不能工作。同時(shí)介紹了印制板材的選擇，這也是一個(gè)影響激勵(lì)源性能的重要因素。
　　 接著分析了射頻激勵(lì)源的阻抗要求，并給出了測(cè)定射頻放電阻抗的方法。本文所研究的射頻激勵(lì)源并非50Ω（或75Ω）標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)射頻電源，因此為了達(dá)到對(duì)負(fù)載的輸出

3、功率要求，必須預(yù)先知道激光器射頻放電阻抗。
　　 最后基于SYNRAD 48J-1激光器，詳細(xì)介紹了三種激勵(lì)源的設(shè)計(jì)方案及相關(guān)理論。
　　 (1)集中參數(shù)多極放大射頻激勵(lì)源；
　　 (2)運(yùn)用微帶線(xiàn)技術(shù)的射頻激勵(lì)源；
　　 (3)功率振蕩器射頻激勵(lì)源。
　　 在設(shè)計(jì)過(guò)程中，使用了ADS2003C仿真平臺(tái)，運(yùn)用了諧波平衡仿真、相位噪聲分析等技術(shù)。
　　 在SYNRAD 48J-1激光器上的實(shí)