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文檔簡介
1、射頻板條CO2激光器采用非穩(wěn)-波導混合腔結(jié)構(gòu),具有光束質(zhì)量好、電光轉(zhuǎn)換效率高、結(jié)構(gòu)緊湊、熱穩(wěn)定性能好等特點,具有廣泛的應用前景。本論文研究了射頻板條CO2激光器電極表面鍍膜和放電控制技術(shù)。主要內(nèi)容包括:
(1)進行了溶膠-凝膠鍍膜實驗。采用以異丁醇鋁為前驅(qū)物、水為溶劑、硝酸為膠溶劑的實驗方案在銅表面制備氧化鋁膜。物相測試結(jié)果表明,膜層為單一晶相的α-Al2O3,光譜儀測試結(jié)果表明膜層表面反射率較低。
(2)開展了化學
2、氣相沉積鍍膜實驗。以AlCl3、H2、CO2為反應物、H2S為催化劑,800°C下在銅表面制備氧化鋁膜。光譜儀測試結(jié)果表明膜層對10.6μm入射光的反射率達85％,能譜儀和衍射儀測試結(jié)果表明,所制備的氧化鋁膜為α-Al2O3和γ-Al2O3的混合體。
(3)進行了磁控濺射鍍膜實驗。采用磁控濺射法在電極表面制備鋁膜,之后鋁膜在激光器工作中被放電氧化。所制備的膜層均勻致密,表面反射率基本達到激光器工作的要求。使用鍍膜后的電極,激光
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