電子廠房潔凈室氣流組織的理論及實驗研究.pdf

1、掌握潔凈室的環(huán)境特性和氣流形態(tài)可以通過對潔凈室進行長時間測試以及實驗得到正確資料。但實際上由于潔凈室體積非常龐大，需要耗費很長時間和很大人力、物力、財力，還有實際生產(chǎn)線運行時潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生污染、外部滲漏以及數(shù)值模擬計算容量等因素限制，使得想要獲得所有資料是很困難的。而對數(shù)值模擬中得到的結果，如果不能與實際現(xiàn)場相比便不值得信賴。本研究以初期運行的LCD潔凈廠房為研究對象，通過現(xiàn)場實測和數(shù)值模擬提出對氣流變化產(chǎn)生影響的各種因素，并分析各改

2、進措施對氣流均勻分布所能起到的作用。具體研究結果如下。
　　 1.對氣流變化造成影響的主要因素
　　 研究結果表明，大面積的全面垂直型潔凈室內(nèi)地板下部大量循環(huán)空氣通過通風豎井入幾集中后流到頂部靜壓層，所以，通風豎井入口距離和柵格地板開孔率會產(chǎn)生阻抗，導致氣流滯留和偏流現(xiàn)象。給氣流變化造成影響的主要因素有通風豎井的位置和柵格地板的配置，及柵格地板開孔率和下部靜壓箱的動力設備等，還有隔斷的設置位置和室內(nèi)長度、地板下部的深度等

3、也會給氣流帶來影響。
　　 2.現(xiàn)場實測和模擬實驗結果分析
　　 以對氣流變化造成影響的因素為變量，利用數(shù)值模擬模擬結果與現(xiàn)場實測的結果比較，得出偏流角度減少程度大致相同。認為潔凈室的設計階段用數(shù)值模擬決定潔凈室的規(guī)模和性能是經(jīng)濟而且可靠的。
　　 1）開孔率調(diào)整和通風豎井追加設置后，現(xiàn)場實測結果表明氣流偏角由最初的60.3°減小到17.5°，有42.8°的改善效果。模擬實驗氣流由最初的58°偏向角度減小到到17

4、°，有41°的改善效果。
　　 2）通風豎井設置、隔斷調(diào)整后，現(xiàn)場實測和數(shù)值模擬中最終氣流偏流角度各是17.5°和17°。與目標值14°接近。
　　 3.關于氣流變動預測的基礎資料
　　 1）潔凈室內(nèi)的氣流形態(tài)都是向通風豎井方向偏流，部分氣流沒有直接偏向通風豎井的原因是由于柵格地板發(fā)生的壓差所致。通風豎井區(qū)間長，偏流角度大的情況下需要采取通風豎井的追加設置等具體的解決方案。
　　 2）潔凈室下部靜壓層的動