工業(yè)潔凈室的微環(huán)境氣流組織模擬.pdf

1、隨著人們生活水平的不斷提高，潔凈技術(shù)廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、微生物、微電子技術(shù)等對(duì)環(huán)境要求相當(dāng)高的行業(yè)。半導(dǎo)體技術(shù)也對(duì)潔凈技術(shù)提出更高要求，傳統(tǒng)的潔凈室已不能滿足當(dāng)今潔凈環(huán)境的要求，潔凈室特別是高級(jí)別的其初投資大，運(yùn)行管理費(fèi)用高，因此，微環(huán)境技術(shù)便應(yīng)運(yùn)而生——SMIF（標(biāo)準(zhǔn)機(jī)器接口）隔離技術(shù)。本論文介紹了該項(xiàng)技術(shù)的國(guó)內(nèi)外研究情況，顯示了SMIF技術(shù)將成為21世紀(jì)高級(jí)別潔凈技術(shù)的主流。 潔凈室的潔凈度與氣流組織相互緊密聯(lián)系著。為了使微環(huán)境

2、內(nèi)的潔凈度達(dá)到1級(jí)的潔凈級(jí)別，環(huán)境內(nèi)的渦流區(qū)域必須盡量減少或者消除；因此，在流場(chǎng)內(nèi)的速度梯度與壓力梯度應(yīng)盡可能控制在小的范圍。一直以來(lái)，國(guó)內(nèi)潔凈室對(duì)于氣流組織的設(shè)計(jì)確定主要以工程經(jīng)驗(yàn)為主；利用CFD模擬技術(shù)，我們可以預(yù)測(cè)氣流流場(chǎng)中的存在問(wèn)題，及早提出改善工程方案，指導(dǎo)工程實(shí)際應(yīng)用。 本文采用常用的CFD軟件，采取紊流二方程模型，應(yīng)用SIMPLE方法。在軟件中建立模型，修改邊界條件，進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，對(duì)SMIF隔離潔凈室的流動(dòng)特性進(jìn)行