

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文檔簡介
1、在信息時代高速發(fā)展的今天,大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)對潔凈室提出了更高的要求。優(yōu)化潔凈室氣流組織形式是提高潔凈室潔凈度的一種有效途徑。本文主要研究和探討了利用數(shù)值模擬計算(CFD)技術,對一個不同的過濾器滿布比和不同的回風形式的垂直單向流潔凈室的氣流組織進行模擬,并詳細敘述了基于模擬結果進行計算分析實現(xiàn)氣流組織優(yōu)化的關鍵技術和實現(xiàn)方法。介紹了潔凈室技術與集成電路生產(chǎn)之間相輔相成的關系,對潔凈室和數(shù)值模擬技術的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢做了
2、綜述。接著從垂直單向流潔凈室的工作原理及其四種不同的送風形式出發(fā),討論了潔凈室氣流組織的各方面的影響因素。選擇CFD技術,采用高雷諾數(shù)的K-紊流的數(shù)學模型和有限體積法的數(shù)學離散方法,選用數(shù)值模擬軟件fluent6.0,對一個頂棚滿布高效過濾器、格柵地板回風和兩側下回風兩種送風方式的潔凈室進行氣流組織的模擬計算,得到了不同滿布比的速度場分布。通過對此潔凈室模型的數(shù)值模擬計算,得出的結論如下:當滿布比在60﹪以上時,格柵回風口的送風形式的氣
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