數(shù)字圖象處理技術(shù)在平面等傾干涉測量中的應(yīng)用.pdf

1、在等傾干涉測量中，不斷變化的明暗相交的圓環(huán)形干涉條紋，反映了被測件的平面度信息，因此對干涉條紋的變化進行記錄和分析顯得至關(guān)重要。但是由于傳統(tǒng)測試系統(tǒng)的局限性，使得使用平面等傾干涉儀進行測量的過程煩瑣，從而導(dǎo)致效率低下，而且測量精度不高。隨著近代電子技術(shù)和計算機圖像處理技術(shù)的發(fā)展，把新興的圖像傳感技術(shù)、計算機控制和數(shù)字圖像處理技術(shù)相結(jié)合是新一代自動化、高精度、高效率等傾干涉測試系統(tǒng)的最佳解決方案。 本課題主要研究了應(yīng)用數(shù)字圖像處理

2、技術(shù)對等傾干涉測量系統(tǒng)進行改進。該系統(tǒng)利用CCD攝像機實時獲取被測件的干涉圓環(huán)信息，然后用數(shù)字圖像處理技術(shù)對干涉圖像進行濾波平滑、條紋細化、中心條紋提取、干涉環(huán)直徑測量等操作。通過詳實周密的數(shù)據(jù)處理，實現(xiàn)了測量結(jié)果的優(yōu)化。針對圖像測量系統(tǒng)普遍存在的測量誤差，本論文還探討了CCD等傾干涉測試系統(tǒng)的測量誤差產(chǎn)生的原因和消除的途徑。 通過大量的測試實驗證明，CCD等傾干涉測試系統(tǒng)能夠應(yīng)用數(shù)字圖像處理技術(shù)對等傾干涉條紋進行實時采集和測量