版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、近年來,IC產(chǎn)業(yè)和PV產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展,對硅材料的需求大大增加。對硅晶片的上游加工技術(shù)-蝣離磨料線切割加工技術(shù)的研究方興未艾,而針對線切割中切割液的研究很少。本文旨在于研究游離磨料線切割加工中切割液參數(shù)對過程振動及過程張緊力的影響規(guī)律,從而分析切割液參數(shù)對硅片表面質(zhì)量和加工精度的影響,對比觀察鋸切前后切割線的微觀結(jié)構(gòu)和磨損形貌;并且分析切割線磨損和斷裂機制及切割液參數(shù)對切割線磨損量的影響,并得出以下主要結(jié)論:
1.SiC切割液
2、加工硅片時,隨切割液濃度的增大,切割線X、Y、Z三個方向的振動減小,切割線過程張緊力變化不明顯,切割硅片的表面粗糙度Ra減小,總體厚度變化TTV減小,硅片表面出現(xiàn)較多的小凸凹。隨切割液磨料粒度的減小,切割線X、Y、Z三個方向的振動減小,切割線過程張緊力前半段逐漸增大,后半段逐漸減小,切割硅片的表面粗糙度Ra及總體厚度變化TTV均呈凹拋物線趨勢變化,表面組織細化明顯。
2.SiC切割液加工硅片時,隨切割液流量的增大,切割線振
3、動增大,切割線張緊力緩慢增大,切割硅片的表面粗糙度Ra逐漸減小,總體厚度變化TTV逐漸減小,表面組織細化。隨切割液噴射壓力的增大,切割線振動和切割線過程張緊力增大,切割硅片的表面粗糙度Ra逐漸增大,總體厚度變化TYV急劇增大,硅片表面平整。隨切割液噴射角度的增大,切割線X、Y、Z三個方向的振動均減小,其中C處線振動更加明顯,切割線過程張緊力變化不明顯,切割硅片的表面粗糙度Ra緩慢減小然后逐漸增大,總體厚度變化TTV逐漸增大,硅片表面有明
4、顯凹坑缺陷。
3.無磨料的純水切割液加工硅片時,隨切割液流量的增大,切割線振動和切割線過程張緊力逐漸增大,切割硅片的表面粗糙度Ra逐漸減小,總體厚度變化TTV逐漸減小,線痕變淺。隨切割液噴射壓力的增大,切割線振動和切割線過程張緊力逐漸增大,切割硅片的表面粗糙度Ra增大,總體厚度變化TTV逐漸增大,表面缺陷減少。隨切割液噴射角度的增大,切割線振動減小,切割線張緊力緩慢增大,切割硅片的表面粗糙度Ra逐漸減小,總體厚度變化TTV
5、緩慢增大,變化不明顯,表面有劃痕、凹坑。
4.在切割液中分別添加了1,2兩種潤滑劑,切割加工后得到的硅片表面粗糙度Ra及總體厚度變化TTV均小于同等條件下未添加潤滑劑時的情況,且硅片表面組織更加均勻。在切割液中分別添加乙二醇200,乙二醇400兩種分散劑,切割液中SiC磨粒分布更加均勻、不易沉積,且得到的硅片表面粗糙度Ra及總體厚度公差TTV均小。
5.分析了切割線的磨損和斷裂機制,并總結(jié)了隨切割時間的長短切
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 游離磨料線切割硅晶體過程的振動研究.pdf
- 游離磨料線切割中磨粒的力學(xué)行為及其對切割表面質(zhì)量的影響研究.pdf
- 游離磨料線切割硅片表面粗糙度的理論分析及實驗研究.pdf
- 硅晶體電火花線切割伺服控制與工藝研究.pdf
- 游離磨粒線切割硅片過程切割線張緊力及線磨損機理研究.pdf
- 微磨料氣射流切割單晶硅沖蝕率及切割質(zhì)量研究.pdf
- 線切割液的研發(fā)及其工藝參數(shù)研究.pdf
- 基于傾角補償?shù)哪チ纤淞髑€切割技術(shù)研究.pdf
- 線切割實驗
- 線切割.dwg
- 硅晶體定晶向電火花線切割加工損傷層檢測研究.pdf
- 線切割.dwg
- 線切割.dwg
- 線切割.dwg
- 線切割.dwg
- 線切割仿真
- 線切割試題
- 線切割.dwg
- 線切割.dwg
- 線切割.dwg
評論
0/150
提交評論