氧化鋅薄膜晶體管的研究.pdf

1、氧化鋅作為一種新型的寬禁帶半導(dǎo)體材料，在電子顯示領(lǐng)域有巨大的潛在的市場價(jià)值。本文在詳細(xì)研究氧化鋅材料特性的基礎(chǔ)上結(jié)合國際最新的研究方向開展了氧化鋅薄膜在電子顯示領(lǐng)域尤其是薄膜晶體管在顯示技術(shù)方面的研究。
　　 通過研究我們發(fā)現(xiàn)，氧化鋅薄膜在具備很好的延展性和透明性的同時(shí)，電學(xué)性能突出。針對氧化鋅薄膜，我們采用射頻濺射的方法，制備并研究了在不同的氣體濺射氛圍下，不同的襯底溫度下，氧化鋅薄膜的特性的變化。研究表明，適量的氧氣濃度和襯

2、底溫度對提高氧化鋅薄膜質(zhì)量有很好的幫助，但過高的氧氣濃度和襯底溫度將導(dǎo)致薄膜內(nèi)部缺陷增多，降低了薄膜質(zhì)量。
　　 在薄膜特性研究的基礎(chǔ)上，制備了氧化鋅薄膜晶體管。通過對不同氧氣氛圍，不同襯底溫度，不同氧化鋅薄膜厚度情況下的晶體管電流電壓特性進(jìn)行了測量，通過對比，我們發(fā)現(xiàn)優(yōu)化薄膜濺射工藝參數(shù)對氧化鋅薄膜晶體管的電學(xué)特性影響較大。除此之外，還研究了氧化鋅薄膜晶體管的絕緣層材料對薄膜晶體管特性的影響，研究表明，在可能的情況下，應(yīng)優(yōu)先選

3、擇介電常數(shù)比較大的材料，這樣可以有效的提高氧化鋅薄膜晶體管的可靠性。而且電極材料對氧化鋅薄膜晶體管的電學(xué)特性有一定影響，但普通金屬都可以和氧化鋅溝道層形成良好的歐姆接觸。
　　 在研究了氧化鋅薄膜晶體管的基礎(chǔ)上，對國際上熱門的適合在大面積柔性顯示領(lǐng)域應(yīng)用的氧化鋅納米線薄膜晶體管進(jìn)行了初步研究，并在現(xiàn)有絲網(wǎng)印刷的技術(shù)基礎(chǔ)上，運(yùn)用壓印轉(zhuǎn)移法，簡化了納米線薄膜晶體管的組裝流程。通過對氧化鋅納米線薄膜晶體管電學(xué)特性的測量，獲得了高達(dá)15