帶通Σ-Δ調(diào)制微陀螺檢測系統(tǒng)的設計.pdf

1、隨著微電子工藝的發(fā)展，當今的應用傳感器逐步向微型化設計的方向轉變，深入人們的生活，微陀螺是較為常用的傳感器之一，它具有諸多優(yōu)點，如體積小、可靠性高、成本低、可批量生產(chǎn)等優(yōu)點，不僅在日常生活中起了很大的作用，更在軍用等方面發(fā)揮著巨大的作用。隨著科技的進一步提高，高性能微陀螺的也成為了市場的高度需求品。但是微陀螺由于驅(qū)動電路產(chǎn)生的驅(qū)動信號影響其靈敏度和檢測精度，針對這種情況，本文研究了以Σ-Δ調(diào)制技術為基礎的一種帶通微陀螺檢測接口電路的設計

2、。
　　本論文分析了微陀螺接口電路的工作原理，在此基礎上，對Σ-Δ調(diào)制技術進行理論分析，同時，建立了微陀螺檢測模態(tài)的等效電學模型，并對其進行理想分析，再通過系統(tǒng)的各個模塊，分別設計出相應的運放以及各種電路。
　　總體的設計流程如下，首先，利用matlab軟件下的simulink工具包建立微機械陀螺檢測系統(tǒng)模型，通過分析計算，對其可行性進行驗證；其次，利用Hspice對系統(tǒng)的相應電路模塊進行分析及設計，實驗室采取的是0.5μm