汞探針CV測試儀測量硅重摻襯底外延層電阻率的準確性和穩(wěn)定性.pdf

1、本論文針對公司使用汞探針CV495測試儀測量重摻襯底硅外延層電阻率時,發(fā)現所得結果有不穩(wěn)定情況,從而導致大批產品報廢的問題進行研究。首先,分析了影響測試結果穩(wěn)定性、重復性的各種因素;在此基礎上制訂了試驗方案;通過大量試驗,發(fā)現:
　　1.汞金屬的更換,會使測試電阻率的結果在大約1天的時間之內表現出波動,之后逐步趨于穩(wěn)定。
　　2.校準片在經過重新表面處理之后,其電阻率值會在大約1天的時間之內經歷由低到高的一個變化過程,之后會

2、逐步趨于穩(wěn)定。
　　3.在經過Cr03溶液表面處理的時間上,如果時間太短比如10分鐘以下,會在一定程度上造成校準片及測試片產生漏電,從而影響到測試曲線的水平以及測試電阻率值的正確性。
　　針對以上3點,經過研究,在原有的汞探針CV監(jiān)控方法基礎上,建立起更加完善的使用汞探針CV測試儀測試重摻襯底硅外延片的監(jiān)控方法:
　　1.確立1片或多片己知外延電阻率的校準片,以作有效汞-硅接觸面積(后簡稱汞點面積)校準時的標準。并且定

3、期測試校準片的電阻率值,以監(jiān)控CV測試儀的穩(wěn)定性。當校準片電阻率值超出規(guī)定范圍時,在確認其它干擾因素均沒有對其產生影響的情況下,應修正有效汞點面積。
　　2.定期更換汞金屬(現在定為每月一換),須待更換后半天以上才能開始用校準片校準有效汞點面積。
　　3.定期對校準片進行重新表面處理(現在定為每月一次),校準片電阻率測試值會在半天以上時間之后恢復至原標稱值。在此電阻率恢復的半天時間之內進行的有效汞點面積的校準值不可取。