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1、該文介紹了作者設(shè)計(jì)、制作的一種諧振梁式壓力傳感受器.從彈性列車長學(xué)角度對傳感器的特性進(jìn)行了理論分析;并用有限元方法,建立計(jì)算機(jī)模型,分析了不同材料、結(jié)構(gòu)對梁的振支和敏感性的影響.依據(jù)分析結(jié)果,選擇氮化硅作為梁材料,采用梁膜一體結(jié)構(gòu),激勵和檢測方式為電熱激振、電阻拾振.芯片利用微機(jī)械加工技術(shù)進(jìn)行制作,采用了多孔硅犧牲層技術(shù)實(shí)現(xiàn)梁膜一體結(jié)構(gòu).采用了隔離墊片和應(yīng)力隔離支柱來減封裝應(yīng)力,完成了傳感器的真空封裝.通過開環(huán)和閉環(huán)兩種方法對傳感器的性
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