低損耗玻璃基光功分器的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文首先詳細(xì)地介紹了玻璃基離子交換過程和形成光波導(dǎo)的微觀機(jī)理，分析離子交換的擴(kuò)散動力學(xué)，導(dǎo)出離子擴(kuò)散方程。其次，重點對光功分器的彎曲傳輸路徑進(jìn)行了優(yōu)化，分析適合彎曲低損耗的邊界條件，從而推導(dǎo)出一個符合低彎曲損耗的九次冪函數(shù)，利用MATLAB模擬計算，彎曲損耗有了進(jìn)一步降低，最后設(shè)計了一個1×4光功分器模板。實驗上，本文對特性玻璃進(jìn)行研磨拋光制成基底，利用高真空鍍膜機(jī)對玻璃基底鍍鈦膜（100nm左右），經(jīng)過光刻、腐蝕工藝產(chǎn)生一個離子交換的

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