低損耗玻璃基光功分器的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文首先詳細地介紹了玻璃基離子交換過程和形成光波導的微觀機理，分析離子交換的擴散動力學，導出離子擴散方程。其次，重點對光功分器的彎曲傳輸路徑進行了優(yōu)化，分析適合彎曲低損耗的邊界條件，從而推導出一個符合低彎曲損耗的九次冪函數(shù)，利用MATLAB模擬計算，彎曲損耗有了進一步降低，最后設(shè)計了一個1×4光功分器模板。實驗上，本文對特性玻璃進行研磨拋光制成基底，利用高真空鍍膜機對玻璃基底鍍鈦膜（100nm左右），經(jīng)過光刻、腐蝕工藝產(chǎn)生一個離子交換的

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