移動(dòng)通信用低損耗聲表面波濾波器.pdf

1、聲表面波(SAW)是一種沿物體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆āAW技術(shù)是上世紀(jì)60年代末期才發(fā)展起來的一門新興科學(xué)技術(shù)。利用半導(dǎo)體制作技術(shù),光刻大批量生產(chǎn),質(zhì)量和一致性都非常好很好。因此SAW器件大量迅速進(jìn)入工程領(lǐng)域,在雷達(dá)、通信、敵我識(shí)別、導(dǎo)航、和電子對抗等領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。
　　通信產(chǎn)業(yè)隨著電子信息的發(fā)展更是高速發(fā)展,為SAW濾波器提供了更為一個(gè)廣闊的市場空間,需求的支持上升帶領(lǐng)產(chǎn)量的直線上升。移動(dòng)通信中的射頻前端中的端發(fā)射(TX)和

2、接收端(RX)必須經(jīng)過預(yù)處理,就是也濾波器濾波,然后才能發(fā)揮作用,濾波器要求滿足低插損、高帶外抑制和大承受功率、高鏡像衰減、成本低、小封裝等特點(diǎn)。因?yàn)槠湓隗w積、頻段范圍、和性價(jià)比上的特別優(yōu)勢,在移動(dòng)通信系統(tǒng)SAW濾波器的應(yīng)用中異軍突起。
　　中國電科集團(tuán)第26研究所是目前國內(nèi)唯一從事聲體波器件研制和生產(chǎn)單位,已實(shí)現(xiàn)了聲表面波濾波器工程應(yīng)用和生產(chǎn)。近來3G甚至4G通訊技術(shù)的快速發(fā)展,高頻,低損耗濾波器的發(fā)展已勢在必行。
　　本

3、論文研究重點(diǎn)在于如何設(shè)計(jì)適合于3G甚至4G通訊技術(shù)的高頻低損耗聲表面波濾波器,并保證其工藝實(shí)現(xiàn)。在原有基礎(chǔ)上也對設(shè)計(jì)方法和工藝方法進(jìn)行優(yōu)化改進(jìn):
　　在設(shè)計(jì)方面,改進(jìn)了聲表面波濾波器設(shè)計(jì)方法,對參數(shù)進(jìn)行最優(yōu)化設(shè)計(jì),仿真效率更高,提高了設(shè)計(jì)成功率。并通過選取合理的結(jié)構(gòu)提高器件的功率承受能力。
　　在工藝方面,開辟了新的工藝技術(shù)路線,在現(xiàn)行聲表面波工藝平臺(tái)基礎(chǔ)上,采用電子束曝光等技術(shù)制備亞微米級圖形,重點(diǎn)解決大面積電極和高密度、