光纖點衍射干涉儀數據處理與系統(tǒng)標定.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、點衍射干涉儀這一物理思想，早在1972年Smartt和Strong就已發(fā)明，由Smartt和Steel做了進一步發(fā)展，并成功的用于檢測天文望遠鏡，它結構簡單，對光源沒有特殊要求，近年來，由于光纖制造工藝以及耦合技術的發(fā)展，單模光纖纖芯不斷縮小，為光纖點衍射干涉儀得以發(fā)展提供了前提條件，該干涉儀由激光照明，除了檢測會聚波前外，還可以用來檢測反射凹球面，進而應用到單個面形的檢測；另外，光纖點衍射干涉儀最大的優(yōu)點是不需要標準鏡，在干涉檢測中，

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