基于近紅外反射式錯(cuò)位點(diǎn)衍射干涉儀的瞬態(tài)波前檢測(cè)技術(shù)研究.pdf

1、點(diǎn)衍射干涉儀采用小孔衍射標(biāo)準(zhǔn)球面波作為參考波前，滿足了高精度波前檢測(cè)要求。點(diǎn)衍射干涉儀是共光路系統(tǒng)，參考光和測(cè)試光難以分離，移相困難，只能通過交互式的方法處理干涉圖，不能滿足自動(dòng)化檢測(cè)要求。為了測(cè)量瞬態(tài)近紅外激光波前，提出了一種新型的近紅外反射式錯(cuò)位點(diǎn)衍射干涉儀，在點(diǎn)衍射干涉儀中引入空間相位調(diào)制，滿足了自動(dòng)化檢測(cè)的要求。
　　首先，為了滿足近紅外激光光束的高精度瞬態(tài)波前檢測(cè)要求，提出了一種斜入射結(jié)構(gòu)的近紅外反射式錯(cuò)位點(diǎn)衍射干涉儀方

2、案。將點(diǎn)衍射干涉儀集成在鍍有特殊膜系的平板基片上，相干光波分別在平板前后表面反射產(chǎn)生橫向剪切，從而在點(diǎn)衍射干涉圖中引入空間線性載頻。采用傅里葉變換的方法處理單幅線性載頻干涉圖，從中恢復(fù)待測(cè)波前，實(shí)現(xiàn)了近紅外波前的自動(dòng)化檢測(cè)。
　　第二，研究了近紅外反射式錯(cuò)位點(diǎn)衍射干涉儀所采集干涉圖的處理方法，分析基于傅里葉變換法的線性載頻干涉圖波前恢復(fù)算法的原理，仿真分析了線性載頻干涉圖波前恢復(fù)算法的精度，對(duì)仿真含有球差、彗差、像散的載頻干涉圖的

3、處理RMS精度優(yōu)于λ/50，證明該算法的可行性。
　　第三，研究了近紅外反射式錯(cuò)位點(diǎn)衍射干涉儀的關(guān)鍵技術(shù)。點(diǎn)衍射板上針孔尺寸和形狀的設(shè)計(jì)保證了參考波前的質(zhì)量;點(diǎn)衍射板表面鍍膜設(shè)計(jì)解決了參考光和測(cè)試光光強(qiáng)匹配和主光路中雜散光和多次反射光影響的問題;針對(duì)近紅外波段針孔難對(duì)準(zhǔn)的問題，提出了成像對(duì)準(zhǔn)法，可以實(shí)現(xiàn)近紅外激光光束的快速對(duì)準(zhǔn)。
　　最后，研究了近紅外反射式錯(cuò)位點(diǎn)衍射干涉實(shí)驗(yàn)。為了驗(yàn)證了近紅外反射式錯(cuò)位點(diǎn)衍射干涉方案的可行性