已閱讀1頁(yè)，還剩90頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、該文采用了當(dāng)前最為先進(jìn)的微機(jī)械加工技術(shù).利用犧牲層方法,結(jié)合半導(dǎo)體平面工藝,設(shè)計(jì)制出了一種具有柵型結(jié)構(gòu)的慣性敏感電容.通過(guò)有限元分析與模擬仿真,解決了傳感器動(dòng)態(tài)性能設(shè)計(jì)中的有關(guān)問(wèn)題,使制出樣品性能與理論設(shè)計(jì)分析十分接近,為今后此類傳感器的研究發(fā)展提供了實(shí)際可行的方法;在工藝設(shè)計(jì)方面,充分考慮了敏感電容制造工藝可能給后續(xù)電路制造工藝帶來(lái)的污染,采用了多晶硅材料,使其制造工藝方法與半導(dǎo)體工藝相兼容,使后續(xù)測(cè)量及信號(hào)轉(zhuǎn)換電路完全設(shè)計(jì)制造在同一
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 體硅微機(jī)械加工技術(shù)與新型微機(jī)械加速度傳感器研究.pdf
- 光纖加速度傳感器技術(shù)研究.pdf
- 微機(jī)械壓阻式?jīng)_擊加速度傳感器研究.pdf
- 加速度傳感器批量測(cè)試平臺(tái)技術(shù)研究.pdf
- 電容式微機(jī)械加速度傳感器檢測(cè)電路研究.pdf
- 加速度傳感器論文速度傳感器論文
- 微加速度傳感器自檢測(cè)技術(shù)研究.pdf
- 基于石英加速度傳感器的加速度測(cè)量系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 富士加速度傳感器
- 傳感器論文-壓電加速度傳感器
- 新型體微機(jī)械工藝制造高性能加速度傳感器的研究.pdf
- 加速度傳感器課程論文
- 應(yīng)變片加速度傳感器
- 新型硅微機(jī)械諧振式加速度傳感器的設(shè)計(jì)與研究.pdf
- 真空微電子加速度傳感器關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- sdi電容加速度傳感器
- 加速度傳感器和位移
- 3軸加速度傳感器
- MEMS加速度傳感器及其調(diào)理電路測(cè)試技術(shù)研究.pdf
- 加速度傳感器數(shù)字化關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論