MEMS加速度傳感器及其調理電路測試技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、MEMS(Micro-electro-mechanical Systems,微機電系統(tǒng))加速度傳感器是新一代地震檢波器的核心部件,它主要由 MEMS傳感器件、ASIC(Application Specified Integrated Circuits,專用集成電路)讀出電路等組成,可實現(xiàn)高靈敏度的地震波檢測。本文依托國家科技重大專項,圍繞“十二五”專項專題里的研究任務,對MEMS加速度傳感器及其讀出電路ASIC的測試技術進行了研究。

2、r>　　本研究主要內容包括：⑴MEMS加速度傳感器的重力場標定:以二階非線性系數(shù)最小為標準對MEMS加速度傳感器進行了重力場標定,并測試了加速度傳感器的靜態(tài)偏差、靈敏度和靈敏度溫度系數(shù)。⑵MEMS加速度傳感器系統(tǒng)噪聲測試:分別測試了模擬閉環(huán)加速度傳感器和數(shù)字閉環(huán)加速度傳感器的系統(tǒng)噪聲,測試模擬閉環(huán)加速度傳感器系統(tǒng)噪聲時采用放大噪聲的方法提高了測試的準確性。⑶MEMS加速度傳感器參考電壓噪聲測試及改進:分析了數(shù)字加速度傳感器的噪聲源,用計

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