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文檔簡介
1、電阻抗成像技術(shù)(EIT:Electrical Impedance Tomography)是近年來迅速發(fā)展起來的一種新穎的圖像重構(gòu)技術(shù),用于反映物體內(nèi)部電阻率或電容率的分布及其變化,通過在物體表面施加電流并進行邊界電壓測量,將測量數(shù)據(jù)通過成像軟件重構(gòu)出獲得物體內(nèi)部電阻率或電容率的分布圖像,反映物體內(nèi)部電參數(shù)變化。目前EIT技術(shù)主要應(yīng)用于醫(yī)療診斷。
微機電(MEMS)傳感器是當(dāng)代發(fā)展最為迅速的傳感器之一,基于EIT技術(shù)的傳感器及其
2、信號處理研究提出了一種新的傳感方法。新的傳感器和傳感方法的研究為MEMS傳感器的發(fā)展與應(yīng)用開拓了廣泛的空間。
本文研究目標(biāo)是將EIT技術(shù)應(yīng)用到MEMS傳感之中,課題的主要任務(wù)是完成基于EIT技術(shù)的MEMS傳感器電流激勵和電壓測量方式的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)硬件和軟件設(shè)計。
本文首先對用于工業(yè)控制和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的EIT系統(tǒng)進行結(jié)構(gòu)分析,對電流激勵和電壓測量數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的基本組成進行了研究。在分析和研究的基礎(chǔ)上,建立了基于EIT技術(shù)的
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