基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動發(fā)電機關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、將環(huán)境中的振動能轉(zhuǎn)換為電能的MEMS微型振動發(fā)電機是近年來國內(nèi)外研究的熱點。本論文在國家自然科學基金資助下，針對微型振動發(fā)電機抗沖擊能力差、易疲勞等問題，開展基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動發(fā)電機的關(guān)鍵技術(shù)研究，具有重要的科學意義和應用價值。
　　 論文在分析微型振動發(fā)電機研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢的基礎上，提出基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動發(fā)電機新結(jié)構(gòu)，分析該微型靜電式振動發(fā)電機的工作原理，建立相應的理論模型并進行模擬仿真；研制出基于微

2、液滴介質(zhì)的微型靜電式振動發(fā)電機宏尺寸原理樣機；開展該微型靜電式振動發(fā)電機的MEMS加工工藝的初步探索研究。論文主要研究內(nèi)容：
　　 ①研究分析了微型振動發(fā)電機的研究現(xiàn)狀與趨勢，提出了基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動發(fā)電機新結(jié)構(gòu)，分析了該結(jié)構(gòu)靜電式振動發(fā)電機的工作原理，建立了相應的理論模型；
　　 ②采用COMSOL Multiphysics軟件對基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動發(fā)電機的Teflon駐極體電場分布和微液滴在微腔