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1、微電源是MEMS技術(shù)發(fā)展最重要的研究方向之一,隨著MEMS技術(shù)的迅速發(fā)展和成熟,微電源已成為該領(lǐng)域急待研究解決的關(guān)鍵問題,是實(shí)現(xiàn)MEMS傳感器、執(zhí)行器和微系統(tǒng)獨(dú)立工作最重要的關(guān)鍵基礎(chǔ)部件。盡管各種微電源已經(jīng)面世,但是,研究一種在理論上可以無限期使用的微型發(fā)電機(jī)系統(tǒng)(換能器)將外界環(huán)境的能量轉(zhuǎn)換為電能的微電源,一直是人們期待解決的重要課題。 本文概述了微型電源的國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢(shì),對(duì)各種工作原理的微型發(fā)電機(jī)進(jìn)行了分析比較,針對(duì)解
2、決某些無法實(shí)現(xiàn)電池充電或燃料更換等諸多使用條件受限環(huán)境下微電源的問題,在國(guó)內(nèi)首次提出利用微電子技術(shù)和MEMS技術(shù)等、依據(jù)電磁感應(yīng)原理,將微型螺旋彈簧及永磁鐵構(gòu)成的拾振系統(tǒng)、感應(yīng)線圈構(gòu)成一種體積很小的振動(dòng)式發(fā)電機(jī)系統(tǒng)的新思想和新方法。以滿足工業(yè)自動(dòng)控制、植入式醫(yī)療裝置、無線網(wǎng)絡(luò)傳感系統(tǒng)、微小機(jī)器人自由移動(dòng)系統(tǒng)等存在微振動(dòng)領(lǐng)域的微電源的需求;是實(shí)現(xiàn)微電源與微傳感器、微執(zhí)行器、低功耗電路和微系統(tǒng)一體化集成的一次重要探索,具有十分重要的科學(xué)意義
3、和廣泛的應(yīng)用前景。本文主要研究工作如下: ①本文在查閱了大量文獻(xiàn)、資料的基礎(chǔ)上分析了微電源的國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀,特別是對(duì)微型振動(dòng)式發(fā)電機(jī)的發(fā)展現(xiàn)狀進(jìn)行了系統(tǒng)分析。 ②較深入地研究分析了微型電磁式振動(dòng)發(fā)電機(jī)的拾振相關(guān)基礎(chǔ)理論。采用有限元分析軟件ANSYS6.0對(duì)拾振系統(tǒng)的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。對(duì)線圈的電阻、電感和線圈的尺寸等關(guān)系進(jìn)行了理論計(jì)算與分析。對(duì)永久磁鐵在空間產(chǎn)生的磁場(chǎng)分布、感應(yīng)線圈中的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)與磁鐵相應(yīng)振動(dòng)等因素的相互
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