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文檔簡介
1、在信息技術(shù)飛速發(fā)展的21世紀，傳感技術(shù)已經(jīng)同計算機技術(shù)與通信技術(shù)一起成為信息產(chǎn)業(yè)的三大支柱之一。在IBM提出的“智慧地球”概念的驅(qū)動下，傳感技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用將越來越廣泛，同時這也對生物傳感器的性能提出更高的要求，高效率、低成本、高靈敏度的高性能傳感器將有著廣闊的發(fā)展前景。
本課題旨在研究一種高靈敏度、低成本的基于氮氧化硅(SiON)波導的級聯(lián)雙環(huán)光波導傳感器。
本文基于我們實驗室首先提出的引入游標效應(yīng)的級聯(lián)雙環(huán)諧振腔
2、的光波導傳感器，采用氮氧化硅波導來實現(xiàn)，研究了工作在小于硅材料吸收帶1100nm波段的高靈敏度傳感器。將平面光波導傳感器的研究視野從SOI材料轉(zhuǎn)到了氮氧化硅材料，從常用紅外通信波段，轉(zhuǎn)到了可見光波段和近紅外波段。采用氮氧化硅作為波導材料，還可以集成低成本的LED或OLED光源和硅探測器，大大降低器件的成本。
本文利用傳輸矩陣法，F(xiàn)DTD理論以及BPM算法對所研究的氮氧化硅基級聯(lián)雙環(huán)傳感器進行了模擬、設(shè)計及優(yōu)化，包括波導結(jié)構(gòu)的分
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