基于SOI的高靈敏級(jí)聯(lián)雙環(huán)傳感器及生物檢測(cè)技術(shù)研究.pdf

1、隨著經(jīng)濟(jì)社會(huì)的不斷發(fā)展，生活水平的不斷提高，人們對(duì)周圍的環(huán)境污染、家人的身體健康也愈發(fā)重視。及時(shí)有效的開(kāi)發(fā)一款高性能的傳感器，用于環(huán)境保護(hù)、食品安全、疾病診斷等領(lǐng)域，已經(jīng)迫在眉睫。集成光波導(dǎo)生物傳感器，因其高靈敏、低成本、易便攜、可實(shí)時(shí)監(jiān)控，有著極其光明的發(fā)展前景。
　　本課題旨在以實(shí)驗(yàn)室研究的級(jí)聯(lián)雙環(huán)光波導(dǎo)傳感器為基礎(chǔ)，驗(yàn)證其生物傳感性能，實(shí)現(xiàn)了對(duì)不同濃度的蛋白質(zhì)分子的檢測(cè)。
　　本文首先研究了環(huán)形諧振腔的基本理論和結(jié)構(gòu)參

2、數(shù)，采用傳輸矩陣法對(duì)單環(huán)諧振腔傳感器的耦合特性進(jìn)行分析，并分析了級(jí)聯(lián)雙環(huán)傳感器的結(jié)構(gòu)特性和傳感特性。
　　本文詳細(xì)介紹了級(jí)聯(lián)雙環(huán)光波導(dǎo)傳感器的制作工藝流程，在超凈室完成了光刻、刻蝕等芯片制作;搭建了高精度的芯片測(cè)試平臺(tái)，建立了完整的測(cè)試流程。
　　本文還對(duì)級(jí)聯(lián)雙環(huán)傳感器的生物傳感性能進(jìn)行相關(guān)研究。學(xué)習(xí)并掌握了傳感器表面修飾的方法，包括靜電吸附法和共價(jià)結(jié)合法，最終完成了對(duì)不同濃度的生物蛋白分子的檢測(cè)，成功驗(yàn)證了傳感器的生物傳感