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文檔簡介
1、隨著經(jīng)濟社會的不斷發(fā)展，生活水平的不斷提高，人們對周圍的環(huán)境污染、家人的身體健康也愈發(fā)重視。及時有效的開發(fā)一款高性能的傳感器，用于環(huán)境保護、食品安全、疾病診斷等領域，已經(jīng)迫在眉睫。集成光波導生物傳感器，因其高靈敏、低成本、易便攜、可實時監(jiān)控，有著極其光明的發(fā)展前景。
本課題旨在以實驗室研究的級聯(lián)雙環(huán)光波導傳感器為基礎，驗證其生物傳感性能，實現(xiàn)了對不同濃度的蛋白質分子的檢測。
本文首先研究了環(huán)形諧振腔的基本理論和結構參
2、數(shù)，采用傳輸矩陣法對單環(huán)諧振腔傳感器的耦合特性進行分析，并分析了級聯(lián)雙環(huán)傳感器的結構特性和傳感特性。
本文詳細介紹了級聯(lián)雙環(huán)光波導傳感器的制作工藝流程，在超凈室完成了光刻、刻蝕等芯片制作;搭建了高精度的芯片測試平臺，建立了完整的測試流程。
本文還對級聯(lián)雙環(huán)傳感器的生物傳感性能進行相關研究。學習并掌握了傳感器表面修飾的方法，包括靜電吸附法和共價結合法，最終完成了對不同濃度的生物蛋白分子的檢測，成功驗證了傳感器的生物傳感
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