基于SOI的高靈敏級聯(lián)雙環(huán)傳感器及生物檢測技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著經(jīng)濟社會的不斷發(fā)展,生活水平的不斷提高,人們對周圍的環(huán)境污染、家人的身體健康也愈發(fā)重視。及時有效的開發(fā)一款高性能的傳感器,用于環(huán)境保護、食品安全、疾病診斷等領(lǐng)域,已經(jīng)迫在眉睫。集成光波導(dǎo)生物傳感器,因其高靈敏、低成本、易便攜、可實時監(jiān)控,有著極其光明的發(fā)展前景。
  本課題旨在以實驗室研究的級聯(lián)雙環(huán)光波導(dǎo)傳感器為基礎(chǔ),驗證其生物傳感性能,實現(xiàn)了對不同濃度的蛋白質(zhì)分子的檢測。
  本文首先研究了環(huán)形諧振腔的基本理論和結(jié)構(gòu)參

2、數(shù),采用傳輸矩陣法對單環(huán)諧振腔傳感器的耦合特性進行分析,并分析了級聯(lián)雙環(huán)傳感器的結(jié)構(gòu)特性和傳感特性。
  本文詳細介紹了級聯(lián)雙環(huán)光波導(dǎo)傳感器的制作工藝流程,在超凈室完成了光刻、刻蝕等芯片制作;搭建了高精度的芯片測試平臺,建立了完整的測試流程。
  本文還對級聯(lián)雙環(huán)傳感器的生物傳感性能進行相關(guān)研究。學(xué)習(xí)并掌握了傳感器表面修飾的方法,包括靜電吸附法和共價結(jié)合法,最終完成了對不同濃度的生物蛋白分子的檢測,成功驗證了傳感器的生物傳感

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