基于共面?zhèn)鬏斁€法的高溫超導(dǎo)薄膜表面電阻的測(cè)試研究.pdf

1、高溫超導(dǎo)薄膜由于其較低的表面電阻和功率損耗而得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。特別是隨著高溫超導(dǎo)薄膜制備技術(shù)的不斷提高，使得其在通信電子領(lǐng)域中的應(yīng)用前景越來(lái)越被看好。然而，在微波場(chǎng)中高溫超導(dǎo)薄膜表現(xiàn)出的非線性特性大大限制了用高溫超導(dǎo)薄膜制造的微波器件的應(yīng)用。微波表面電阻是非線性研究的一個(gè)重要組成部分，對(duì)它研究有助于了解非線性產(chǎn)生的原因和其微觀本質(zhì)。因此，高溫超導(dǎo)薄膜的微波表面電阻測(cè)試研究就顯得尤為重要。目前，世界上很多國(guó)家都在進(jìn)行這方面的研究。

2、r>　　 本文詳細(xì)介紹了用共面?zhèn)鬏斁€法測(cè)量高溫超導(dǎo)薄膜表面電阻的原理，建立了測(cè)試腔的模型，并對(duì)該模型進(jìn)行仿真和分析。在此過(guò)程中對(duì)其傳輸系數(shù)S21曲線圖進(jìn)行了對(duì)比及優(yōu)化，得到了比較理想的諧振器尺寸和具體的耦合探針位置，并根據(jù)該優(yōu)化結(jié)果設(shè)計(jì)和制作了共面諧振器測(cè)試腔。
　　 本測(cè)量方法從開(kāi)始研究至今，經(jīng)歷多次反復(fù)的仿真實(shí)驗(yàn)，解決了這種方法的耦合困難的問(wèn)題，成功使諧振器產(chǎn)生了諧振效果，并把諧振器的諧振頻率降低到了4.5GHz。共面諧振