基于平行板法的高溫超導(dǎo)薄膜的表面電阻的測(cè)試研究.pdf_第1頁(yè)
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1、高溫超導(dǎo)技術(shù)由于其優(yōu)越性而越來(lái)越得到廣泛的應(yīng)用。特別是隨著高溫超導(dǎo)薄膜制備技術(shù)的不斷提高，使得其在電子信息等領(lǐng)域中的應(yīng)用前景越來(lái)越被人們看好。高溫超導(dǎo)薄膜的微波表面電阻是衡量薄膜質(zhì)量的一個(gè)重要參數(shù)指標(biāo)。因此，用什么方法去測(cè)量高溫超導(dǎo)薄膜的微波表面電阻就顯得尤為重要。目前，世界上很多國(guó)家都在進(jìn)行這方面的研究。 本文詳細(xì)介紹了用平行極法測(cè)量高溫超導(dǎo)薄膜表面電阻的原理，建立了測(cè)試腔的模型，并對(duì)該模型進(jìn)行仿真和分析。其中分別對(duì)空腔和加入

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