選區(qū)表面起皺及其形貌調(diào)控.pdf

1、近年來以聚二甲基硅氧烷(PDMS)為基底構(gòu)筑選區(qū)多層膜體系,研究其表面有序皺紋結(jié)構(gòu)的產(chǎn)生成為熱點(diǎn)。但是在選區(qū)產(chǎn)生微結(jié)構(gòu)的研究中,目前常用的方法比較復(fù)雜,所得選區(qū)皺紋周期和取向的精細(xì)調(diào)控還未涉及。本論文探索了不拉伸和拉伸狀態(tài)下的PDMS基底經(jīng)銅網(wǎng)選區(qū)后,其表面多層膜體系的構(gòu)筑與表面選區(qū)皺紋的誘導(dǎo)。
　　第一部分是在未拉伸的PDMS表面進(jìn)行選區(qū)氧等離子體(簡(jiǎn)稱OP)處理,接著在此基底上轉(zhuǎn)移聚苯乙烯膜或蒸鍍金屬鉑膜,加熱誘導(dǎo)表面皺紋微結(jié)

2、構(gòu)的產(chǎn)生,系統(tǒng)考察了OP處理時(shí)間、PS膜厚、金屬鉑膜厚度、銅網(wǎng)目數(shù)對(duì)皺紋形貌的影響。第二部分是在拉伸的PDMS表面,對(duì)PDMS表面進(jìn)行選區(qū)OP處理,松弛后再在此基底上構(gòu)筑上述多層膜進(jìn)行上述研究。
　　通過這兩部分未拉伸與拉伸狀態(tài)的多層膜起皺,實(shí)現(xiàn)了皺紋的選區(qū)制備。研究發(fā)現(xiàn),未拉伸選區(qū)多層膜起皺過程中,當(dāng)加熱溫度低時(shí),只在第Ⅰ次未曝光的區(qū)域產(chǎn)生皺紋,繼續(xù)升高溫度,則第Ⅰ次曝光區(qū)域也有皺紋產(chǎn)生。即利用第Ⅰ次曝光區(qū)和非曝光區(qū)的不同的臨界