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1、 本文對(duì)SiC/SiO<,2>納米復(fù)合薄膜和低維ZnO納米結(jié)構(gòu)的制備及其特性進(jìn)行了研究。文章采用SiC/SiO2復(fù)合靶,用射頻磁控共濺射技術(shù)和后高溫退火的方法在n型(111)Si片上制備出了SiC/SiO2鑲嵌結(jié)構(gòu)納米復(fù)合薄膜;采用射頻磁控共濺射方法在Si(111)襯底上沉積Zn/SiO2復(fù)合薄膜。文章同時(shí)介紹了把充分研磨后的ZnO微晶粉末和SiO2微晶粉末溶于乙醇溶液中,加入少量硝酸做電解質(zhì),經(jīng)超聲波充分振蕩后得到電泳液。用自制
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