SiC-SiO-,2-納米復合薄膜和低維ZnO納米結構的制備及其特性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、 本文對SiC/SiO<,2>納米復合薄膜和低維ZnO納米結構的制備及其特性進行了研究。文章采用SiC/SiO2復合靶，用射頻磁控共濺射技術和后高溫退火的方法在n型(111)Si片上制備出了SiC/SiO2鑲嵌結構納米復合薄膜；采用射頻磁控共濺射方法在Si(111)襯底上沉積Zn/SiO2復合薄膜。文章同時介紹了把充分研磨后的ZnO微晶粉末和SiO2微晶粉末溶于乙醇溶液中，加入少量硝酸做電解質(zhì)，經(jīng)超聲波充分振蕩后得到電泳液。用自制

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