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文檔簡介
1、本文的工作是采用氧化物法工藝制造毫米波旋磁鐵氧體器件用的六角M型鋇鐵氧體材料,并研究了它的表征形貌及成分以及相關磁性能的改變和如何實現(xiàn)低溫燒結。旨在通過采用氧化物法工藝制備標準M型鋇鐵氧體材料,通過摻雜改變材料的基本磁性能,并且研究了材料的低溫燒結。因為LTCC工藝的關鍵步驟要求鐵氧體材料要能與內導體和陶瓷結構形成共燒,通常燒結溫度較低,為850℃——950℃,所以實現(xiàn)M型鋇鐵氧體的低溫燒結非常關鍵,同時還要求材料達到一定的性能指標。<
2、br> 實驗過程中首先是確定實驗工藝,為了制備具有良好微觀形貌,成分均勻且具有一定高頻磁性能的M型鋇鐵氧體材料,采用單一改變變量法,研究了預燒溫度,一次球磨時間,二次球磨時間對材料的影響,并找出最優(yōu)制備工藝。然后在低溫燒結時主要是對助燒劑的研究來降低燒結溫度,采用了復合型玻璃 BBSZ來實現(xiàn)M型鋇鐵氧體的低溫燒結,并測試低溫燒結材料的性能,最后通過Zn-Ti摻雜對M型鐵氧體材料進行改性,同時選取了3個低溫燒結點來研究材料的飽和磁化強度
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