低溫燒結(jié)M型鋇鐵氧體高頻軟磁特性及應(yīng)用研究.pdf

1、隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，電路模塊及器件的小型化，集成化及高頻化成為衡量該行業(yè)發(fā)展水平的重要標準。低溫共燒陶瓷 LTCC技術(shù)完全迎合現(xiàn)代電子系統(tǒng)高頻化、小型化的發(fā)展要求，目前它已成為電子元件集成封裝的關(guān)鍵技術(shù)，而相應(yīng)的材料研究對LTCC技術(shù)的發(fā)展起至關(guān)重要的作用。由于M型鋇鐵氧體具有較大的矯頑力和磁能積、單軸磁晶各向異性等優(yōu)點，因而被廣泛的應(yīng)用在永磁、吸波和微波毫米波器件等領(lǐng)域中。本論文主要圍繞M型鋇鐵氧體的低溫燒結(jié)及其在LTCC技術(shù)

2、中的應(yīng)用這一主題展開。
　　在材料研究方面，首先對應(yīng)用在微波領(lǐng)域的M型鋇鐵氧體進行了研究，通過鈷鈦摻雜提高了該材料的高頻軟磁特性，采用sol-gel工藝制備了鈷鈦摻雜M型鋇鐵氧體粉體。重點研究了摻雜量、燒結(jié)溫度以及助燒劑BBSZ對鈷鈦摻雜的M型鋇鐵氧體材料磁性能參數(shù)的影響。通過研究發(fā)現(xiàn)，助燒劑 BBSZ能夠促進晶粒生長，降低粉體的燒結(jié)溫度；鈷鈦離子的摻雜能夠提高M型鋇鐵氧體材料起始磁導(dǎo)率，改善材料的高頻軟磁特性。通過大量實驗研究，

3、主要在提高起始磁導(dǎo)率、改善頻率特性、降低燒結(jié)溫度方面取得進展，成功研制了起始磁導(dǎo)率為14，燒結(jié)溫度為920℃，截至頻率為800MHZ應(yīng)用于高頻片式電感的M型鋇鐵氧體粉體。
　　在片式器件研究方面，首先對M型鐵氧體的流延工藝進行了研究，研制了性能較佳的M型鐵氧體的流延膜片，確定了M型鋇鐵氧體在LTCC應(yīng)用的工藝可行性。在有限元計算和電磁場仿真的理論指導(dǎo)下，借助HFSS軟件進行片式電感、濾波器結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計及性能的仿真預(yù)測。用本文研制