金屬光柵偏振器設(shè)計(jì)及其工藝仿真.pdf

1、本文采用微納偏振敏感陣列模擬沙蟻復(fù)眼的構(gòu)想，仿造沙蟻復(fù)眼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)制作微型偏振器，使具有高靈敏度、高精度、低功耗、微體積的仿生視覺傳感器的研制成為可能。主要研究?jī)?nèi)容為金屬光柵偏振器的設(shè)計(jì)仿真及加工工藝的研究。這種偏振器件的研究為微納導(dǎo)航系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)奠定了基礎(chǔ)。
　　 針對(duì)仿生微納導(dǎo)航系統(tǒng)敏感波段380～520nm的要求，采用嚴(yán)格耦合波理論設(shè)計(jì)了一種新型透射式金屬光柵偏振器。在垂直入射條件時(shí)，入射波長(zhǎng)為450nm，本文設(shè)計(jì)的光柵的TM

2、透射效率大于62.8％，消光比大于474。數(shù)值計(jì)算和理論分析表明，本文設(shè)計(jì)的金屬光柵偏振器是一種寬帶寬、高TM透射效率和高消光比的偏振器件。建立了金屬鋁光柵表面具有氧化層的的模型，分析了氧化層對(duì)偏振光柵性能的影響。此外，利用嚴(yán)格耦合波理論分析了方向誤差和面形誤差對(duì)亞波長(zhǎng)光柵透射效率的影響。
　　 采用有限元方法并借助ANSYS軟件對(duì)熱壓印過程中聚合物填充過程進(jìn)行模擬，并且對(duì)影響聚合物填充過程的因素進(jìn)行分析，詳細(xì)分析了深寬比、凹槽