亞波長(zhǎng)金屬光柵偏振特性及制作工藝研究.pdf

1、亞波長(zhǎng)金屬光柵引起人們廣泛的研究興趣，其周期小于工作波長(zhǎng)而具有特殊的衍射光場(chǎng)。亞波長(zhǎng)金屬光柵對(duì)入射光中的TM模高透射且對(duì)TE模高反射，具有良好的偏振性能，且其具有體積小、光譜寬、易集成等傳統(tǒng)光柵器件不具有的優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于眾多領(lǐng)域。
　　本文研究了應(yīng)用于新型相機(jī)中的金屬光柵偏振片，重點(diǎn)研究了一維亞波長(zhǎng)金屬光柵的結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)其偏振性能的影響，并探索了其制作工藝，為其在實(shí)際應(yīng)用中提供了可靠的理論依據(jù)和實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。本論文主要做了以下幾個(gè)方

2、面的研究：
　　首先，對(duì)光柵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。介紹了亞波長(zhǎng)光柵基于麥克斯韋方程組解的兩種數(shù)值計(jì)算方法：時(shí)域有限差分法(FDTD)和嚴(yán)格耦合波法(RCWA)。利用以這兩種算法為核心的軟件Rso ft，仿真計(jì)算了亞波長(zhǎng)金屬光柵的各個(gè)結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)其偏振特性的影響，得出了優(yōu)化的結(jié)構(gòu)參數(shù)。
　　其次，進(jìn)行了亞波長(zhǎng)金屬光柵的基本的制作工藝研究。創(chuàng)新點(diǎn)為：用一層硅掩膜來(lái)分別改善金屬刻蝕工藝中兩個(gè)難題，刻蝕殘留物難移除及傳統(tǒng)的光刻膠掩膜不