有機(jī)電致發(fā)光顯示器關(guān)鍵工藝技術(shù)及其可靠性的研究.pdf

1、隨著有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OLED)的不斷深入和廣泛的研究以及越來越多的應(yīng)用，使其為人們所熟知，它多姿多彩的應(yīng)用為當(dāng)今的信息社會增添了無數(shù)斑斕。為使OLED有更加廣闊的市場前景，這就需要對OLED顯示的制程工藝及可靠性有更高的要求。
　　 本文首先總體介紹了OLED的發(fā)展概況、結(jié)構(gòu)和顯示原理以及OLED制造工藝流程，重點(diǎn)研究了OLED生產(chǎn)工藝當(dāng)中的兩個比較關(guān)鍵的生產(chǎn)工藝技術(shù)，針對OLED設(shè)計(jì)提出了適合其器件產(chǎn)品特點(diǎn)的可靠性評價(jià)方法

2、，并制定了可靠性評價(jià)方法的和測試流程及測試條件：
　　 1）表面預(yù)處理工藝研究和改進(jìn):主要從生產(chǎn)角度來研究OLED基板表面的預(yù)處理工藝的效果，從接觸角和方阻值等方面進(jìn)行測試比較，在進(jìn)行UV Ozone，Plasma以及兩者相結(jié)合的表面處理后，通過對其的光電特性。發(fā)光效率等測試結(jié)果來對各種表面處理的效果進(jìn)行比較，實(shí)驗(yàn)證明在各種表面預(yù)處理工藝中，氧UV Ozone加上氧Plasma的處理對提高器件亮度，發(fā)光效率的貢獻(xiàn)最為顯著。在生產(chǎn)

3、工藝中，同時配置UV Ozone和氧Plasma的預(yù)處理設(shè)備，結(jié)合兩種處理方式，使得生產(chǎn)的OLED的器件可以達(dá)到最佳的性能。
　　 2）彩色濾光片CF實(shí)行全彩化的工藝研究和改進(jìn):基于量產(chǎn)能力角度來考量實(shí)現(xiàn)全彩化OLED的技術(shù)，比較使用彩色濾色膜（CF）與使用RGB三色排列實(shí)現(xiàn)OLED全彩化兩種方法的亮度以及表面平整度等光電參數(shù)。試驗(yàn)證明：ITO薄膜的粗糙不平、灰塵和針孔等缺陷引起的凸凹不平將引起會使得CF的表面出現(xiàn)屬于微米級別的

4、不均勻問題，導(dǎo)致使用CF的全彩OLED的產(chǎn)品會出現(xiàn)可靠性等質(zhì)量問題。本文提出針對CF在OLED實(shí)現(xiàn)全彩化的生產(chǎn)方式中需要解決CF表面的粗糙度，以及阻隔ITO層下面的有機(jī)層上水氣方面的問題的進(jìn)行改進(jìn)和優(yōu)化。對于OLED的材料開發(fā)也提出了新的課題，同時也需要對OLED的器件結(jié)構(gòu)的改進(jìn)，才能實(shí)現(xiàn)更好應(yīng)用于OLED全彩化。
　　 3）OLED可靠性評價(jià)方法的研究:現(xiàn)在OLED不像LCD等其他顯示器件已經(jīng)有了統(tǒng)一的評價(jià)方法和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，制定

5、OLED評價(jià)方法基于學(xué)習(xí)可靠性相關(guān)基礎(chǔ)理論知識，在了解和熟悉LCD等相關(guān)顯示器件的可靠性評價(jià)方法和測試方式的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)適合OLED顯示器件的可靠性評價(jià)方法和測試條件，以達(dá)到實(shí)行OLED商品化的要求，滿足市場對于OLED器件可靠性的要求。
　　 本文的工藝研究和改進(jìn)進(jìn)一步優(yōu)化了OLED關(guān)鍵的生產(chǎn)工藝，并制定了OLED的可靠性評價(jià)方法，彌補(bǔ)了現(xiàn)有OLED產(chǎn)品上市所缺少地可靠性評價(jià)的空白，對于OLED進(jìn)一步的商品化有著很大的指導(dǎo)意義。