用于精密平臺的壓電致動器研究.pdf

1、壓電致動器作為壓電智能材料最重要的應(yīng)用,近年來成為微電機(jī)領(lǐng)域的一個研究熱點(diǎn)。在精密定位控制系統(tǒng)中,采用壓電致動器作為其驅(qū)動控制部件,已經(jīng)成為精密定位控制領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展趨勢。本文主要針對壓電致動器在二維精密定位平臺中的應(yīng)用作了一些相關(guān)的探討,包括壓屯致動器的基本理論、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、性能測試、驅(qū)動控制以及應(yīng)用方面的相關(guān)研究。主要研究內(nèi)容和成果如下：
　　 ⑴從壓電效應(yīng)原理和壓電材料特性著手,介紹了壓電致動器的基本理論。特別的對疊層型壓電

2、致動器的結(jié)構(gòu)和性能特性進(jìn)行了深入的探討,通過一系列的實(shí)驗(yàn)來進(jìn)行分析和研究,為其應(yīng)用打下了基礎(chǔ)。
　　 ⑵基于疊層型壓電致動器和正交放大的原理,設(shè)計(jì)了壓電放大致動器,并采用有限元分析的方法對放大結(jié)構(gòu)進(jìn)行建模、分析和優(yōu)化,研制了樣機(jī)并對其性能進(jìn)行了測試。同時對壓電放大致動器的應(yīng)用也做了一些有意義的探討。
　　 ⑶虛擬儀器技術(shù)是現(xiàn)代計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和儀器系統(tǒng)相結(jié)合的產(chǎn)物,利用計(jì)算機(jī)的強(qiáng)大功能來實(shí)現(xiàn)和擴(kuò)展傳統(tǒng)儀器的功能,實(shí)現(xiàn)信號的采集