雙足壓電作動(dòng)器的研究及其在二維平臺(tái)中的應(yīng)用.pdf

1、近些年來(lái)，光電技術(shù)、精密制造加工、納米科學(xué)、航宇工程等領(lǐng)域?qū)芏ㄎ患夹g(shù)提出了越來(lái)越高的要求，如需要亞微米或納米級(jí)的定位分辨率，精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制等。非共振式壓電直線作動(dòng)器具有精度高、響應(yīng)快、可自鎖等特點(diǎn)，有望應(yīng)用于新型精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的作動(dòng)之中。
　　本文研究的雙足壓電直線作動(dòng)器，是以壓電疊堆為作動(dòng)單元的一種非共振式作動(dòng)器，在大行程下依然具有精度高、響應(yīng)快、推力大的特點(diǎn)，應(yīng)用于精密二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)時(shí)具有較大的優(yōu)勢(shì)。本文的主要研究?jī)?nèi)容如下：<

2、br>　　介紹了壓電精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的應(yīng)用背景及其特點(diǎn)，概述了壓電作動(dòng)技術(shù)的研究現(xiàn)狀；比較了共振與非共振式作動(dòng)技術(shù)，歸納了以壓電疊堆為作動(dòng)單元的非共振式作動(dòng)器的特點(diǎn)。
　　介紹了壓電元件的特點(diǎn)及結(jié)構(gòu)，總結(jié)了其使用方法與注意事項(xiàng)；考慮到壓電輸出對(duì)外加壓力的敏感性，對(duì)兩種壓電疊堆做了預(yù)緊力標(biāo)定實(shí)驗(yàn)；研究了兩種壓電疊堆的動(dòng)態(tài)特性，獲得了不同預(yù)緊力下二者的激勵(lì)電壓、頻率與輸出振幅的關(guān)系。
　　根據(jù)對(duì)單、雙足壓電作動(dòng)原理的比較及三相、四相