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1、本文基于原子力顯微鏡結(jié)合三維微動(dòng)工作臺(tái)以及金剛石針尖建立測(cè)試系統(tǒng)并編制控制軟件,對(duì)幾種薄膜材料進(jìn)行納米壓痕硬度的測(cè)試研究.首先,解決基于AFM本身的壓痕軟件進(jìn)行納米硬度測(cè)量時(shí)只能得到力曲線而無(wú)法直接得到載荷-壓深曲線的問題;其次,把AFM和PI三維精密工作臺(tái)結(jié)合在一起,通過RS232串口控制工作臺(tái)的X、Y方向移動(dòng),解決了由于AFM掃描陶管掃描范圍的限制進(jìn)行點(diǎn)陣壓痕實(shí)驗(yàn)的范圍有限的問題.最后,用美國(guó)Hysitron公司的納米原位測(cè)量?jī)x(T
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