溫度補償?shù)膲弘姳∧んw聲波濾波器.pdf

1、小型化、高性能的薄膜體聲波（BAW）帶通濾波器在移動無線通訊系統(tǒng)中受到了廣泛的歡迎。薄膜體聲波帶通濾波器是基于高Q值的諧振器，該薄膜體聲波諧振器是利用壓電氮化鋁（AlN）薄膜的厚度延伸模式。濾波器和諧振器采用1維縱向的電-聲的梅森模型。
　　多模移動通訊終端需要高性能的射頻濾波器解決方案，例如在UMTS系統(tǒng)中集成移動電視功能而產(chǎn)生的互相干擾問題。TD-CDMA的移動電視（TDtv）是一種起源于歐洲的移動電視技術(shù)，TDtv發(fā)送電視信

2、號到移動終端的通帶是從1900-1910MHz，比UMTS3G的發(fā)射頻帶（1920-1980MHz）僅低10MHz。為了使TDtv和UMTS在無線手機中同時使用需要一個高選擇性的帶通濾波器來抑制TDtv帶外的干擾。同時，為了抑制UMTSTx輸出信號增加TDtv接收機的信噪比，需要在UMTSTx通信支路增加一個濾波器，該濾波器在UMTS通帶內(nèi)具有極低的插入損耗，同時在TDtv頻帶具有良好的抑制性能。
　　我們設(shè)計和制造了基于溫度補償

3、的薄膜體聲波技術(shù)的帶通和帶阻濾波器。實測結(jié)果顯示，兩個濾波器在通帶內(nèi)的具有較低的插入損耗（~3dB），高帶外抑制（35~40dB）和快速的滾降特性（從通帶到阻帶僅有10MHz）。此外，這一對濾波器具有極低的頻率溫度系數(shù)（TCF），為-4ppm/oc，相比傳統(tǒng)的BAW濾波器提高了5倍。低的頻率溫度系數(shù)是一個至關(guān)重要的參數(shù)，尤其是在濾波器非常陡峭的滾降區(qū)域，由于溫度變化而引起細微的頻率漂移都有可能導(dǎo)致濾波器在滾降區(qū)域不滿足技術(shù)指標(biāo)。該溫度補