基于Qplus技術掃描探針顯微鏡掃描頭的研制.pdf

1、自1981年第一臺掃描隧道顯微鏡發(fā)明以來,掃描探針顯微鏡得到了迅速的發(fā)展,被廣泛的應用在表面科學、生命科學、微納加工、精密弱力測量等領域。尤其是原子力顯微鏡,不僅可以應用于導體樣品表面的掃描成像,而且可以應用于絕緣體樣品表面。除了作為表面分析工具和用于微納加工外,原子力顯微鏡還可以進行微弱力信號的精密測量,本實驗室正是基于精密測量Casimir力的目的而設計搭建了一套掃描探針顯微鏡系統(tǒng)。
　　本套掃描探針顯微鏡可以在掃描隧道顯微鏡

2、模式和原子力顯微鏡模式工作。本文主要介紹基于Qplus技術的原子力顯微鏡研制的工作,主要內容包括以下幾方面:一、掃描探針顯微鏡掃描頭的設計和組裝。本部分主要介紹了如何設計、組裝一個能夠穩(wěn)定工作的掃描探針顯微鏡的掃描頭;二、低溫超高真空前置放大器的研制。采用電路設計仿真軟件Multisim對用于原子力顯微鏡的低溫超高真空前置放大器進行設計與仿真,制作該前置放大器并在室溫和液氮溫度進行了測試;三、系統(tǒng)性能測試和壓電陶瓷管的標定。在STM模式