基于DSP的數(shù)控掃描隧道顯微鏡研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、STM具有原子量級的分辨率，在納米檢測、納米電子學、納米材料等領域有重要應用。將DSP與STM相結合，實現(xiàn)STM儀器的全數(shù)字化，使得儀器結構更加簡潔、性能更加穩(wěn)定、功能更加靈活，是STM儀器發(fā)展的一個重要方向。 本論文設計研制了一套基于DSP的數(shù)控STM，它采用TMS320VC5416做主處理器，全面負責STM掃描成像的整個過程，包括X、Y向掃描控制和Z向高度反饋控制，以及隧道電流采集等，同時通過串口把圖像數(shù)據(jù)傳送給計算機進行后

2、期處理、顯示和存儲，極大地減輕了計算機的負擔。在所研制的數(shù)控STM中，我們采用轉換時間為21ns的14位D/A轉換器AD7840和轉換時間為30ns的12位D/A轉換器AD565分別控制STM壓電陶瓷管的X、Y和z向高精度運動，同時采用轉換時間為1.6us的12位A/D轉換器MAX120來采集隧道電流，用CPLD控制整個掃描成像過程，使得X、Y向掃描精度達到0.1nm，Z向控制精度達到0.01nm，反饋控制速度達到500KHz，滿足ST

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