微納流控芯片制作方法及其富集應用.pdf

1、近年來，隨著微流控芯片技術的不斷深入和發(fā)展，納流控芯片技術或微納流控芯片技術也得到了快速的發(fā)展。微納流控芯片在離子或分子的分離與富集的分析研究具有廣闊的研究空間和應用前景。隨著納流控芯片通道尺寸的降低，納米通道具有一些特殊的性質如表面電荷，雙電層，粘度增加和電滲流降低等。這些特殊的性質使得微納流控芯片在生化分析方面具有重要作用。本文重點研究了微納流控芯片的制作方法，采用玻璃和聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作微納流控芯片，最后采用微納流控芯

2、片進行離子和蛋白的富集實驗。
　　 由于玻璃材料具有很好的光學性能和電學性能，刻蝕的各向同向性和制造精度高等特點，因此本文優(yōu)先采用玻璃材料來制作微納流控芯片。結合微納流控芯片結構特點，本文通過兩塊基片上采用光刻和濕法刻蝕的方法分別制作微米通道和納米通道。通道形成以后，采用專門的對準裝配裝置對準，然后進行預聯(lián)結，最后通過高溫鍵合的方法永久性鍵合芯片。
　　 PDMS具有價格便宜，制作工藝比較簡單，制作周期比較短的特點，因此

3、PDMS在微流控芯片的制作材料上具有很大的優(yōu)勢。本文首先制作了PDMS的微米通道芯片的SU-8膠模具，通過軟光刻的方法制作微米通道芯片。由合作單位進行鍵合，制作了上下兩層是PDMS的微米通道芯片，中間一層是納米孔膜的三明治結構的PDMs微納流控芯片。
　　 最后，本文結合國內(nèi)外富集原理初步分析了微納流控芯片的特性：表面電荷，雙電層和尺寸效應。本文在電驅動下的微納流控芯片進行離子的富集實驗，得到了高于富集溶液多倍的離子濃度。采用牛